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飞纳Phenon全自动台式扫描电子显微镜

2017-09-28 内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室

飞纳Phenon全自动台式扫描电子显微镜

产地厂家:飞纳中国

规格型号:Phenom Pro

购置时间:2017年6月

  主要技术指标:

  1、光学显微镜:放大20-135倍; 
  2、电镜放大:130000倍; 
  3、探测器:背散射电子探测器; 
  4、灯丝材料:1500小时CeB6灯丝;
  5、分辨率:优于10nm; 
  6、加速电压:5Kv-10kV连续可调; 
  7、抽真空时间:小于15s; 
  主要用途:

  本仪器适合测试薄膜或粉末材料的形貌结构等。

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